紫翠会第７５０回例会御通知

　日　時　　　平成１４年６月２６日（水）午後６時　時間厳守

　会　場　　　中之島プラザ　１１階　第１会議室（添付図参照）

　講演者　　　岸野　正剛　氏（姫路工業大学）

　演　題　　　「極薄SOIウエーハの電気的非接触及びサブミクロン評価技術」

　要　旨　　　今後のLSIデバイスに使用されるSOI（Si On Insulator）ウエーハでは、

　　　　　　　SOIウエーハのSi層の厚さが100 nｍ以下と極薄になるが、このウエーハ、

　　　　　　　及び、このウエーハの上に形成するゲート酸化膜との界面の電気的特性は

　　　　　　　共に良質でかつ信頼性の高いものでなくてはならない。本講演では、この

　　　　　　　技術課題に対して開発している電気的性質の評価技術、即ち、走査型チャ

　　　　　　　ージポンピング法（非接触法）やAFM装置を使った走査型容量顕微鏡法（サ

　　　　　　　ブミクロン評価）などについて紹介する。

　　　　　　　

　　ご多用中とは存じますが準備の都合がありますので、代表の方は出欠を

　とりまとめて大阪大学大学院工学研究科電気工学専攻　伊瀬または関西電力

　お客さま本部ネットワーク技術開発グループ　西林までお知らせ下さるよう

　お願い致します。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　次　回　富士通　　　　　（　７月２４日）

　　　　　　　　　　　　　　　　　　次々回　京都工芸繊維大学（　９月２５日）

　　　　　　　　　　　　

　　　　　幹事　　伊瀬（大阪大学）

　　　　　　　　　西林（関西電力）

　　　　　　　　　　　　　　　[紫翠会ホームページ]

　　　　　　　　　　　　　　　http://contr.pwr.eng.osaka-u.ac.jp/~ise/shisuikai/

　　　　　　　　　　　　　　　[幹事連絡先]

　　　　　　　　　　　　　　　関西電力株式会社

　　　　　　　　　　　　　　　お客さま本部ネットワーク技術開発グループ内

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　西　林

電　話：070-5788-0009

ＦＡＸ： 06-6441-0577

e-mail：K442338@kepco.co.jp