紫翠会第７８０回例会御通知
日 時 平成１７年３月２３日（水）午後６時 時間厳守
会 場 関西電力本店ビル（新ビル）５階 ５２１号会議室
講演者 林 司 氏 （日新電機）
演 題
「薄膜トランジスター用低温ポリシリコン薄膜形成装置の紹介」
要 旨 大型フラットテレビの普及と地上波デジタル放送の本格到来を控え、
次世代のフラットパネルディスプレイの高精細化と低価格化に対する
ニーズが高まっている。
弊社に於いて、液晶テレビや有機ＥＬテレビに使用される薄膜トラン
ジスタ（TFT）応用として期待されている低温ポリシリコン薄膜を、低
コストで大面積に直接的に成膜できる独自な成膜装置を開発したので紹
介する。 技術的には、結晶性シリコンの直接成膜法として、低ポテン
シャルで高密度のシランプラズマを形成できるSide-Wall電極型PEC
VD成膜装置を開発し、低温（400℃）で、インキュベーション層の無
い結晶性シリコン膜が形成できる事を確認した。
本講演では、電力関連高電圧技術や開閉器等関連技術から電子・イオ
ンビーム加速技術や、プラズマ生成・制御技術が培われた背景と、現状
のビーム・プラズマ技術をレビューし、弊社の取り組みの概要を紹介する。
ご多用中とは存じますが準備の都合がありますので、代表の方は出欠をとりまと
めて大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻 尾崎または関西電力お客さま本部ネ
ットワーク技術高度化推進グループ 岡本までお知らせ下さるようお願い致します。
次 回 神戸大学 （ ４月２７日）
次々回 日本電気 （ ５月２５日）
幹事 尾崎（大阪大学）
岡本（関西電力）
[紫翠会ホームページ]
http://cobalt.ele.eng.osaka-u.ac.jp/e1/shisuikai/
[幹事連絡先]
関西電力株式会社
お客さま本部ネットワーク技術高度化推進グループ内
岡 本
電 話： 050-7104-0591
ＦＡＸ： 06-6441-7226
e-mail：